Improvement in electrical properties of carbon nanotube via interconnects

  1. Katagiri, M.
  2. Yamazaki, Y.
  3. Wada, M.
  4. Kitamura, M.
  5. Sakuma, N.
  6. Suzuki, M.
  7. Sato, S.
  8. Nihei, M.
  9. Kajita, A.
  10. Sakai, T.
  11. Awano, Y.
Actas:
Advanced Metallization Conference (AMC)

ISSN: 1540-1766

ISBN: 9781617822810

Ano de publicación: 2010

Páxinas: 152-153

Tipo: Achega congreso