Texture in ITO films deposited at oblique incidence by ion beam sputtering

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Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 2022

Volumen: 605

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2022.154677 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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