Synthesis and characterization of zirconium oxynitride ZrO xNy coatings deposited via unbalanced DC magnetron sputtering

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Revista:
Materials Chemistry and Physics

ISSN: 0254-0584

Año de publicación: 2013

Volumen: 141

Número: 1

Páginas: 42-51

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MATCHEMPHYS.2013.04.012 GOOGLE SCHOLAR
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