Stress reduction in a-C:H coatings through the addition of nitrogen to the feed gas

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Revista:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Año de publicación: 2004

Volumen: 13

Número: 9

Páginas: 1645-1657

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.DIAMOND.2004.02.003 GOOGLE SCHOLAR
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