Improvement in electrical properties of carbon nanotube via interconnects

  1. Katagiri, M.
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  3. Wada, M.
  4. Kitamura, M.
  5. Sakuma, N.
  6. Suzuki, M.
  7. Sato, S.
  8. Nihei, M.
  9. Kajita, A.
  10. Sakai, T.
  11. Awano, Y.
Actas:
Advanced Metallization Conference (AMC)

ISSN: 1540-1766

ISBN: 9781617822810

Año de publicación: 2010

Páginas: 152-153

Tipo: Aportación congreso